過濾器的現(xiàn)場檢漏
過濾器在運輸及安裝過程中會產生損壞，需要在安裝后進行檢漏，包括有的安裝接縫處的密封檢漏。通常采用掃描法，數(shù)量少的好辦，數(shù)量很多時往往采用多個計數(shù)器及探頭成排掃描，有時亦有采用安裝前先檢漏，安裝時認真監(jiān)督進行控制。
現(xiàn)場檢漏的方法，采用掃描法，所用塵源，對要求不嚴的潔凈室常直接用大氣塵，但大氣塵的情況不穩(wěn)定的，掃描結果有時不易判斷，因此常采用DOP及其替代物質，同前所述，一般采用多分散的為經濟方便。
儀器采用光度計或合適的粒子計數(shù)器，后者的靈敏度可高到0.001%，而光度計僅為0.01%，這樣后者可減少塵源DOP等的氣溶膠量（后者所需濃度0.008mg/l而前者需要~10mg/l），因此對ULPA的檢漏不宜采用光度計，塵源亦不宜采用大氣塵。

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